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20 载
电测设备“智”造商
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SF6检漏仪工作原理主要看器仪器采用是某种方式的传感器进行检测，SF6气体检漏仪传感器类型分析如下：
| 各种SF6传感器的性能比较 | ||||||||
| 传感器类型 | 工作原理详细描述 | 可检测气体种类 | 优点 | 缺点 | 适应场合 | 备注 | ||
| 高频电离法 | 对稀薄气体进行高频电离时，电负性气体分子可以吸附电子转为大质量离子，其在电磁场中的速度远比电子慢，因此气体会表现出不同的电特性。 | 电负性气体，主要为SF6和卤代烃 | 检测下限浓度，小于100ppb的SF6浓度也可以被检测出来，不中毒 | 装置复杂，工作稳定性不好，操作不算方便，每次使用前都需要标零，对多种其他气体也敏感 | 用于检测微量泄漏的定量检漏仪器 | 高频电离法应用广泛 | ||
| 半导体法 | 高温半导体吸附极性分子（含有卤素的分子容易具有极性的极性）后特性发生变化 | 醇类，醛类，卤代烃，主要为各类制冷剂和溶剂 | 价格低廉 | 对SF6完全不敏感（SF6不属于卤代烃，也不是极性分子，不会被吸附） | 不适合监测SF6 | 半导体法 | ||
| 激光光声法 | 使用波长等于SF6气体吸收峰的激光照射被测气体，当被测气体中含有SF6时，会吸收激光能量并发热膨胀，产生声波。 | SF6 | 检测下限浓度，可达1〜10ppb， | 装置复杂，价格较昂贵，有一定误报概率，检测取样多，响应速度慢 | 用于检测微量泄漏的定量检漏仪器 | 声光法 | ||
| 超声波法 | SF6气体碳酸盐浓度。当气体中含有SF6时，平均分子量变大，其中声速相应降低。 | SF6 | 工作较稳定，装置简单，价格低廉 | 分辨率低，检测下限较高（通常在数十ppm以上），受温湿度影响大，受其他气体干扰大 | 可以做双气体（例如SF6和氮气混合气体）中SF6含量测量用 | 超声波法 | ||
| 激光光谱法 | 利用SF6对10.6微米激光的强吸收，测得吸收池中气体的SF6浓度 | SF6 | 0.01PPM | 价格昂贵，工作不稳定 | 被激光光声法和红外光谱法取代 | 激光法 | ||
| 红外光谱法 | 提供测量通道和参考通道，分别加装不同波长的滤光片，使之获得不同波长的红外光，测量通道内部波长位于SF6的吸收峰上，参考检测通过两个通道的红外光，并做对比，比值即表征了被测气体中的SF6浓度。 | 各种具有红外吸收峰的气体，只针对SF6气体有作用 | 完全真实的SF6浓度值，装置较简单，体积小，精度高，工作稳定，寿命长，漂移小，不中毒 | 检测下限高于ECD法，高频电离法和激光光声法。每年需要对传感器进行标定，价格适中 | 在线监测和手持式定量检漏仪 | 红外光谱法精度高，性能稳定，目前广泛应用 | ||
| 高压击穿法 | SF6具有很强的灭弧性能。使用高电压击穿气体，当气体中含有SF6时，电弧电流和持续时间都有所变化。检测这种变化，可以探测出SF6气体浓度。 | 各种具有灭弧性能的气体 | 装置简单小巧，也一体灵敏 | 本身短。不适合做定量检测 | 适合做手持的定性式检测仪器 | |||
| 电子逮捕获法（ECD法） | 负离子进入电场，因质量不同，电场下速度不同，在窄脉冲电场下不同质量的电负性气体分子产生不同的电流峰。 | 各种电负性气体 | 对SF6的检测下限极低，可达PPT等级 | 昂贵。线性范围小，SF6浓度稍大即饱和，且有长期拖尾（类似中毒）。 | 用于检测微量泄漏的定量检漏仪器 | 传感器容易中毒 | ||
| 负离子捕获法 | 利用带电的吸嘴（电极）吸气，气体中的SF6由于有强烈的电负性，经过吸嘴时会被吸附带电，产生电流。 | 各种电负性气体 | 装置较简单，操作方便 | 装置通常需要配气泵，检测下限在零点几ppm级，远不如激光光声，电子俘获等方法，寿命短，反应慢 | 用于检测微量泄漏的定量检漏仪器，正在被其他方法取代 | |||
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