SF6纯度检测部分
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测量方式
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红外(NDIR)测量原理(欧洲传感器公司NDIR系列传感器)
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使用环境温度
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-20℃~+60℃
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测量范围
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0~100%
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响应时间
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[90%]60s
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测量误差
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优于±0.5%FS
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重复性误差
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±0.5%
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分辨率
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0.01%
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显示单位
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%
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SF6微量水分检测部分
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测量方式
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阻容测量原理(芬兰维萨拉DMT系列传感器)
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使用环境温度
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-20℃~+60℃
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测量范围
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-80℃~+20℃(当露点温度低于0℃,传感器输出为霜点)
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响应时间
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63%[90%] +20→-20℃ Td 5s[45s] -20→-60℃ Td 10s[240s]
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测量误差
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优于±1℃
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重复性误差
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±0.5℃
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分辨率
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0.01℃
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显示单位
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℃,ppm,℃P20(带有环境20℃的露点换算值)
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CF4气体检测部分
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测量方式
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红外(NDIR)测量原理(德国Smartgas公司NDIR系列传感器)
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使用环境温度
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-20℃~+60℃
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测量范围
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0-1000PPmv
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测量误差
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±5PPmv(FS)
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重复性误差
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±2PPmv
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分辨率
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0.1PPmv
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显示单位
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PPmv
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分解产物参数
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H2S
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1~200PPmv
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SO2
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1~100PPmv
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CO
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1~500PPmv
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HF
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1~50PPmv
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灵敏度
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0.5PPmv
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Air空气检测部分
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测量方式
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氧化锆(德国itg公司NDIR系列传感器)
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使用环境温度
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-20℃~+60℃
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测量范围
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0-100%
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测量误差
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±0.5%(FS)
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重复性误差
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±0.2%
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分辨率
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0.01%
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显示单位
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%
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气体流量
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400~600ml/min
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流量显示
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0~1000mL进口数字流量计
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样气压力
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≤1MPa
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环境湿度
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90%RH
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测量数值影响
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压力与流量无影响
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电源
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交直流两用(8小时以上的电池使用时间)、交流时:220VAC±10%,50Hz
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