| SF6纯度检测部分 | 测量方式 | 红外（NDIR）测量原理（欧洲传感器公司NDIR系列传感器） |
| 使用环境温度 | -20℃~+60℃ | |
| 测量范围 | 0~100% | |
| 响应时间 | [90％]60s | |
| 测量误差 | 优于±0.5%FS | |
| 重复性误差 | ±0.5% | |
| 分辨率 | 0.01% | |
| 显示单位 | % | |
| SF6微量水分检测部分 | 测量方式 | 阻容测量原理（芬兰维萨拉DMT系列传感器） |
| 使用环境温度 | -20℃~+60℃ | |
| 测量范围 | -80℃~+20℃（当露点温度低于0℃，传感器输出为霜点） | |
| 响应时间 | 63％[90％] +20→-20℃ Td 5s[45s] -20→-60℃ Td 10s[240s] | |
| 测量误差 | 优于±1℃ | |
| 重复性误差 | ±0.5℃ | |
| 分辨率 | 0.01℃ | |
| 显示单位 | ℃，ppm，℃P20（带有环境20℃的露点换算值） | |
| CF4气体检测部分 | 测量方式 | 红外（NDIR）测量原理（德国Smartgas公司NDIR系列传感器） |
| 使用环境温度 | -20℃~+60℃ | |
| 测量范围 | 0-1000PPmv | |
| 测量误差 | ±5PPmv（FS） | |
| 重复性误差 | ±2PPmv | |
| 分辨率 | 0.1PPmv | |
| 显示单位 | PPmv | |
| 分解产物参数 | H2S | 1～200PPmv |
| SO2 | 1～100PPmv | |
| CO | 1～500PPmv | |
| HF | 1～50PPmv | |
| 灵敏度 | 0.5PPmv | |
| Air空气检测部分 | 测量方式 | 氧化锆（德国itg公司NDIR系列传感器） |
| 使用环境温度 | -20℃~+60℃ | |
| 测量范围 | 0-100% | |
| 测量误差 | ±0.5%（FS） | |
| 重复性误差 | ±0.2% | |
| 分辨率 | 0.01% | |
| 显示单位 | % | |
| 气体流量 | 400~600ml/min | |
| 流量显示 | 0~1000mL进口数字流量计 | |
| 样气压力 | ≤1MPa | |
| 环境湿度 | 90%RH | |
| 测量数值影响 | 压力与流量无影响 | |
| 电源 | 交直流两用（8小时以上的电池使用时间）、交流时：220VAC±10%，50Hz |
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